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LLO 설비는 첨단 광학 원리와 레이저 박리 기술을 응용하고 다양한 사용자에 대해 엑시머와 DPSS의 두 가지 레이저 솔루션을 충분히 준비하여 다양한 제품의 응용 장면에 대응하고 레이저 선택적 박리를 효율적으로 실현할 수 있으며 박리 후 양품률이 매우 높습니다.

1. 전자동 로딩 및 언로딩 지원, 작업 효율 향상;
2. 높은 양산 효율, 높은 가동률;
3. 다양한 레이저 솔루션 지원;
4. 4', 6', 8' 웨이퍼 호환;