웨이퍼 ID 마킹기는 고정밀 모션 플랫폼과 완전 폐쇄 루프 수치 제어 시스템, 고해상도 CCD 영상 포지셔닝 기술 및 AOI 검사 기능을 채택하여 웨이퍼 ID 마킹을 수행할 수 있고 전자동 웨이퍼 로딩 및 언로딩을 실현할 수 있으며 설비는 완전히 독립적인 지적 재산권을 가지고 있습니다.
제품 장점：
1. 비전: ±20um, 플랫폼 반복: ±10um, 전체 설비 정밀도: ±125um;
2. 8, 12inch 웨이퍼 설계 호환 가능;
3. 출력 검출, 실시간 보정 지원;
4. 레이저: 맞춤형 레이저, 공랭 방열, 모듈화 설계;
5. 실제 요구에 따라 각 부품 맞춤 제작할 가능, 고객 요구에 따라 기타 기능 선택 가능;
