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晶圆背面打标机

产品说明：

晶圆背面打标机采用高精度运动平台和全闭环数控系统、以及高分辨率的CCD影像定位技术和AOI检测功能，可进行晶圆背面打标，实现全自动晶圆上下料，设备具有完全自主知识产权。

产品优势：

1. 视觉：±10um，平台重复：±5um，整机精度：±50um；
2. 单头效率超过普通双头甚至高出50%，同时兼容8,12inch Foup、Cassete；
3. 配备晶圆整平机构，可对软晶圆打标，高精度硬件配置可应对晶圆翘曲 ≤12mm；
4. 激光器：绿光激光器，风冷散热，模块化设计;

绿光激光器

风冷散热