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オンライン拡散/アニール自動ローディング/アンローディングマシン
製品説明：
オンライン拡散/アニール自動ローディング/アンローディングマシンは、拡散前のシリコンウェーハをセルカセットから石英ボートに自動で載せ、拡散炉に自動で送り、ウェーハが拡散した後、拡散したウェーハを石英ボートからセルカセットに自動で載せる装置。
製品メリット：
1. 速度：12,000枚/時間。
2. 非常に低い破損率： ≤0.02％。
3. 吸引カップの印および歯の印のような広範囲の欠陥： ≤0.02%。
4. 角型、菱形ボートと互換性がある。
5.2.38～3.15mmの異なるピッチ仕様の石英ボートに対応する。
自動配置、低破損率、高生産能力